Indledning
HD100Rhalvleder magnetisk pumpeer et professionelt overførselsudstyr, der er skræddersyet-til halvlederindustrien. Med en tætningsfri magnetisk drevstruktur leverer den ingen lækage og ingen ekstern kontaminering under hele driften, hvilket fuldt ud opfylder de høje-krav til renlighed i halvlederværksteder.
De fugtede dele af denne magnetiske PTFE-pumpe til halvledere er lavet af PTFE med høj-renhed, som modstår forskellige stærkt ætsende halvlederkemikalier uden ionudfældning eller medium permeation. Den overfører sikkert specielle kemikalier såsom ætseopløsninger, rengøringsopløsninger og reagenser med høj-renhed. Den integreret udformede døde-plads-fri pumpehus med høj-glans overflade tillader grundig rengøring og forhindrer effektivt mellemstore rester og kryds-kontamination. Som en pålidelig magnetisk pumpe til halvlederkemikalier kører den konstant med lave vibrationer og understøtter 24-timers kontinuerlig drift. Udbredt i waferfremstilling, chippakning og halvledervådprocesser, tjener den som en kerneenhed til transport af ætsende kemikalier med høj renhed i halvledersektoren.
Produktets strukturskema
Teknisk parameter
Model | Rør interface | SpiralgrænsefladeR-M RX-MRZ-M | Maks. kapacitet (L/min) | Maks. hoved(m) | Specifik vægt | Motor | Vægt (kg) | |||
Indløb (mm) | Udløb (mm) | Indløb/udløb | Koblingsdimensioner (mm) | 50Hz/60Hz | 50Hz/60Hz | Output(w) 50Hz/60Hz | Fase | |||
HD100R | 26 | 26 | G1 | 20 | 120/135 | 8.6/11.9 | 1.2 | 260/265 | 1 eller 3 | 8.1 |
Præstationskurve
Vigtige fordele
1. Integreret formet PTFE med høj-renhed med fremragende korrosionsbestandighed
De fugtede dele af denne magnetiske PTFE-pumpe til halvledere er integralt kompressionsstøbt-med fortykket PTFE med høj-renhed. Sammenlignet med konventionelle splejsede PTFE-pumper har den en stærkt forbedret modstandsdygtighed over for gennemtrængning af stærkt ætsende kemikalier og højere trykbestandighed. Det er fuldt anvendeligt til langtidslevering af-høj-ætsningsløsninger og strippere til halvledere og forhindrer materialedelaminering, udbuling og ionudfældning.
2. Høj-flowstruktur for stabil levering
Det tilpassede hydrauliske modul med høj-flow er designet til masse-produktion af halvlederlinjer. Den tilbyder et bredere flowområde og stabil trykudgang til at levere væske til flere våde proceslinjer samtidigt, hvilket løser problemerne med utilstrækkelig løftehøjde og drastiske flowudsving i almindelige magnetiske pumper under høje-flowforhold.
3. Høj-fuldt forseglet magnetisk drivsystem
Denne magnetiske pumpe til halvlederkemikalier er udstyret med opgraderede forstærkede magnetiske koblingskomponenter for højere momentkapacitet. Kombineret med et fuldstændigt forseglet støvtæt og anti-korrosionshus, opretholder det langtids-fuld-kontinuerlig drift og isolerer luftbårne partikler og ætsende gas i støv-fri værksteder for at beskytte kernetransmissionsdele.
4. Stor-kapacitet Død-plads-fri hulrumsdesign
Det forstørrede hulrum i HD100R vedtager optimeret jævn overgang uden døde hjørner, der fastholder væske. Dens indervæg i høj-glans muliggør hurtigere og mere grundig-onlinerengøring. Ideel til alternativ levering af forskellige halvlederkemikalier, det undgår fuldstændig krydskontamineringsrisici.
5. Høj-tryksbestandig struktur til komplekse rørledningsforhold
Pumpehuset og forbindelsesdelene er forstærket til højt tryk, med bedre trykbæreevne end tilsvarende modeller. Den tilpasser sig komplekse rørledninger, lang-levering og svingende rørledningstryk i halvlederværksteder og fungerer stabilt uden lækage eller deformation.
Typiske applikationer
● Lang-transport af høj-koncentration af flussyre til waferætsning
Det integralt kompressionsstøbte-fortykkede PTFE-materiale af HD100R modstår langtidsgennemtrængning af flussyre og undgår skaldelaminering og udbuling under lang-højtrykstransport-.
● Centraliseret væskeforsyning til parallelle halvleder-vådprocesproduktionslinjer
Udstyret med et dedikeret hydraulikmodul med høj-gennemstrømning har denne industrielle halvleder-magnetiske pumpe ekstremt lav dæmpning af løftehøjde og flowhastighed. Den kan stabilt levere væske til mere end 3 rengørings- og ætsningsproduktionslinjer uafhængigt, og erstatter parallel installation af flere små-flow magnetiske pumper.
● Skiftende cirkulerende transport af diversificerede syre-basekemikalier til halvledere
Med et udvidet glat, dødt-rum-frit hulrum og høj-indvendig væg efterlader den ingen kemikalierester efter onlinerengøring, og forhindrer grundigt kryds-kontamination under skiftevis levering af ætseopløsninger og strippere og tilpasser sig til hyppige arbejdsforhold ved kemisk skift.
Dimension (mm)
Model | W | H | L | a | b | c | h | e | f | g | i |
HD100R | 156 | 174 | 335 | 70 | 100 | 110 | 74 | 65.5 | 44 | 147 | 4-9*27 |
FAQ
Spørgsmål: Vil bagvandspåvirkning fra rørledninger under lang-transport af kemisk væske forårsage pumpelækage og deformation på grund af utilstrækkelig trykmodstand?
A: Der vil ikke forekomme trykfejl med standard rørledningslayout. Tryktab forekommer uundgåeligt i langdistance--halvlederætsningsvæskerørledninger, og omvendt bagvandspåvirkning vil sandsynligvis forekomme under nedlukning af udstyr og regulering af grentryk. Som en halvlederindustriel magnetisk pumpe anvender HD100R målrettet trykforstærkning til lang-bagvandsarbejdsforhold. Kulfiberforstærkede foringer er indlejret ved samlinger af pumpehusflanger og pumpedæksler med en nominel trykmodstand på op til 1,6 MPa. Det kan udligne dynamisk rørledningsbagvandspulstryk. I mellemtiden har det integralt støbte PTFE-hus ingen splejsningsspalter, hvilket forhindrer kappe-revner og væskelækage og understøtter halvleder-kemisk transport over 100 meter.
Sp.: Vil den høje-flow-leveringstilstand i HD100R reducere den hydrauliske effektivitet?
A: Der forekommer ingen hydraulisk effektivitetsdæmpning inden for det nominelle høje-flowområde. Udstyret med tilpasset bred-sektionsvolut og fremad-skrånende lav-hvirvelhjul, optimerer HD100R tilpasning af strømningsbanens krumning. Dens hydrauliske effektivitet forbliver stabilt over 78 % på tværs af alle vurderede arbejdsforhold med høj-gennemstrømning uden effektivitetsfald med stigende flowhastighed og sikrer ensartet grentryk for parallel fler-væskeforsyning.
Q: Hvor kan man købe HD100Rhalvleder magnetisk pumpe?
A: Du kan kontakte vores salgsteam via e-mailjuicy@sxhono.com.cnfor at indhente produktspecifikationer, tilbud og valganbefalinger. Hvis du har særlige applikationskrav, kan vi også give dig tilpassede væskeoverførselsløsninger.
Populære tags: halvleder magnetisk pumpe, Kina halvleder magnetisk pumpe producenter, leverandører, fabrik
